腔室快门
应用于ETCH反映腔内，与机台等离子体直接接触的焦点工艺部件，用于等离子体气氛中Liner传送晶圆入口处侧壁外貌的防护
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产物特点
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相关方案
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质量治理
产物特点
使用内壁高纯钇基涂层
外壁阳极氧化，提高产物寿命
使用等离子喷涂手艺做高纯钇基涂层
具备极高的化学稳固性及耐酸碱耐电压耐等离子侵蚀的涂层外貌手艺做防护，使得部件与等离子体直接接触
涂层质料纯度>99.95%
耐击穿电压>700V/mil，耐酸侵蚀>3h，结协力>14MPa
质量治理
腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanＶふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。
