内衬
应用于ETCH反映腔内，与机台等离子体直接接触的焦点工艺部件，主要在等离子体刻蚀情形中起到侧壁防护作用
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产物特点
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相关方案
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质量治理
产物特点
使用外壁阳极氧化
内壁高纯钇基涂层做防护，提高产物寿命
使用等离子喷涂手艺做高纯钇基涂层
具备极高的化学稳固性及耐酸碱耐电压耐等离子侵蚀的涂层外貌手艺做防护，使得部件与等离子体直接接触
高耐侵蚀
高耐侵蚀的装备零部件是芯片制程装备的功效需求，零件的耐侵蚀性能决议了装备的功效性、可靠性、和装备在线停机维护的频ci崎岖。
质量治理
腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanＶふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。
