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交织孔焊接类匀气盘

应用于PECVD,举行硬掩模沉积的装备中,gai产物通过对气体的匀称控制,进而沉积很是平滑且匀称的薄膜,并知足高产聅hi暗统杀镜牟咝枨。

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交织孔焊接类匀气盘
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交织孔焊接类匀气盘
  • 产物特点
  • 相关方案
  • 质量治理

产物特点

高精度的气体流量一致性

高精度的气体流量一致性

(STD<25mTorr)

涉及50倍径以上高细密深孔加工

高清洁度

高清洁度

(Particle@0.2um<15ea/cm2)

极为重大的交织孔加工及毛刺去除工艺

高真空度

高真空度

(<1.0*E-9mBar?L/s)

电子束焊和激光焊等高难度焊接工艺

质量治理

腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanVふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。

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024-31692130

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