接地装置
主要应用于Etch装备，gai产物配合升降机构、工艺气体传输及射频传输等系统装配，对阴极位置举行牢靠，并起到接地作用。
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产物特点
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产物参数
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质量治理
产物特点
高细密
高精尺寸的装备零件是半导体芯片特殊是纳米级芯片制造的基础
零部件精度直接决议了晶圆制程装备的精度以及其各道工艺处置赏罚功效的实现
高清洁度
高清洁的装备零部件是晶圆工艺制程获得良品率的基础
制程装备的清洁度直接决议了在制晶圆及后续芯片的良品率，甚至决议了整条生产线是否有及格品产出
高耐侵蚀
高耐侵蚀的装备零部件是芯片制程装备的功效需求
零件的耐侵蚀性能决议了装备的功效性、可靠性、和装备在线停机维护的频ci崎岖
产物参数
| 质料 | 铝合金 |
| 外貌处置赏罚 | 阳极氧化 |
质量治理
腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanＶふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。
