IMP工艺气体传输控制柜
离子注入（IMP:-mplant）通过准确控制离子能量、注入剂量和温度等参数，可以实现对质料外貌性能的优化和新性能的获。氲继、质料科学、生物医学等领域的生长提供了有力支持。离子注入工艺气体传输控制柜是离子注入装备的主要组成部门，它认真在离子注入历程中准确控制气体的流量、压力等关jian参数，以知足离子注入工艺对气体供应的严酷要求。gai控制柜集成磷七精度的流量控制、压力调治以及清静掩护功效，确保离子注入工艺的稳固性和清静性。
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产物特点
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产物参数
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质量治理
产物特点
高精度流量控制
流量控制器和压力调治器接纳高精度设计，能够确保气体流量和压力的准确控制
通过对气路部门设计知足客户对小流量、低压力的气体流量控制，最终知足客户的工艺要求
清静稳固性
气柜配有门互锁开关、压力清静开关、单向阀、手动进切断阀等清静部件保证气柜清静
装备接纳全304不锈钢，外观30mm以上圆弧过渡设计保证优异导电性，提高了装备的清静性能。
高气密性
产物接纳IGS和VCR接口形式
实现半导体装备的高气密性
？榛
接纳？榛杓，装备结构紧凑、？榛杓
便于维护和替换部件。nm以上的颗粒杂质
清静认证
通过SEMI S6测试清静认证
产物参数
| 外漏测试漏率 | ≤1.0X10-11/mbar·L/s |
| 内漏测试漏率 | ≤1.0X10-9/mbar·L/s |
| 保压测试50psi | 氮气保压测试，保压12h，压降 ≤1% |
| 氦爆测试漏率 | ≤1.0X10-9/mbar·L/s;（可。 |
| 颗粒测试 | (5 particle @ >0.1um) |
| 水氧测试 | 水含量≤10PPB，氧含量≤10PPB；（可选） |
质量治理
腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanＶふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。
