传输腔模组
传输腔模组应用于刻蚀和薄膜沉积等真空情形制程装备，焦点作用在装载模块和反映？榧浯途г。
公司的传输腔模组整体性能要求均通过国际主流客户认证，使用细密加工手艺和超清洁洗濯手艺团结装配及测试手艺来保证传输腔模组的清洁度和密封性，运动型等要求。
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产物特点
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产物参数
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相关方案
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质量治理
产物特点
高细密重大组装手艺
模组产物需要完成密封组装、电气组装、运动部件组装
高密封性
传输腔模组用途主要是用于将晶圆从装载？橛敕从衬？榧浯
密封性是确保晶圆质量的关jian因素
高清洁度
高清洁的装备零部件是晶圆工艺制程获得良品率的基础
制程装备的清洁度直接决议了在制晶圆及后续芯片的良品率，甚至决议了整条生产线是否有及格品产出
产物参数
| 组成 | 工艺零部件、结构零部件、管路器件、尺度件 |
| 漏率 | 1*10-9torr*l/s |
| 清洁度 | 关jian部件LPC液态粒子检测、ICPMS金属元素检测、荧光检测 |
质量治理
腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanＶふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。
