泵板
PUMP是关jian部件之一，有助于CVD化学气相沉积等焦点制程的稳固性提高及能耗降低，气体匀称性直接影响晶圆制程反映。
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产物特点
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产物参数
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相关方案
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质量治理
产物特点
高细密
高精尺寸的装备零件是半导体芯片特殊是纳米级芯片制造的基础
零部件精度直接决议了晶圆制程装备的精度以及其各道工艺处置赏罚功效的实现
高清洁度
高清洁的装备零部件是晶圆工艺制程获得良品率的基础
制程装备的清洁度直接决议了在制晶圆及后续芯片的良品率，甚至决议了整条生产线是否有及格品产出
气体流量匀称性
气体浏览量的高精匀称性和高稳固性
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产物参数
| 质料 | 铝合金 |
| 毗连方式 | 电子束焊接 |
质量治理
腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanＶふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。
