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等离子喷涂手艺
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等离子喷涂手艺

等离子喷涂（PS)是使用直流电源驱动，通过阴极与阳极之间发生超高温度的电弧等离子体，进而瞬间加热陶瓷等质料形成半熔融化，沉积在基材外貌天生涂层的工艺方式。

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等离子喷涂手艺

手艺特点

等离子喷涂（PS）天生的涂层

具有高化学稳固性、高耐侵蚀性、高抗电性能及高清洁度等优点

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应用chang景

等离子喷涂（PS)产物最常应用于刻蚀机台内与焦点反映区域直接接触的内衬（Liner）等套件，以及PECVD、离子注入等兼具电学与化学侵蚀情形的机台中，对强卤族元素形成的等离子体如CF4、SF6 、Cl2、HBr等均有很好的耐侵蚀作用

等离子喷涂（PS)产物最常应用于刻蚀机台内与焦点反映区域直接接触的内衬（Liner）等套件，以及PECVD、离子注入等兼具电学与化学侵蚀情形的机台中，对强卤族元素形成的等离子体如CF4、SF6 、Cl2、HBr等均有很好的耐侵蚀作用

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